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當前位置:首頁  >  產(chǎn)品中心  >  爐式設備  >  TFC化學氣相沉積  >  TFE-1200-50-220單溫區(qū)PE-CVD系統(tǒng)

單溫區(qū)PE-CVD系統(tǒng)

簡要描述:單溫區(qū)PE-CVD系統(tǒng)高性能射頻電源.等離子體更穩(wěn)定;滑軌式結構能使整個反應腔室都處于輝光產(chǎn)生區(qū).并可實現(xiàn)快速升溫和降溫功能;
與傳統(tǒng)CVD相比較.生長溫度更低

  • 產(chǎn)品型號:TFE-1200-50-220
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時間:2024-07-29
  • 訪  問  量:2142

詳細介紹

品牌科冪儀器升溫速度(達到最高溫)≤10℃//min
內(nèi)部尺寸Φ80*220mmmm加熱方式電阻絲
最大功率3KkW控溫精度±1℃
最高溫度1200℃價格區(qū)間面議
儀器種類管式爐產(chǎn)地類別國產(chǎn)
應用領域化工,能源,電子,冶金,綜合

單溫區(qū)PE-CVD系統(tǒng)

特點:高性能射頻電源.等離子體更穩(wěn)定;

滑軌式結構能使整個反應腔室都處于輝光產(chǎn)生區(qū).并可實現(xiàn)快速升溫和降溫功能;

單溫區(qū)PE-CVD系統(tǒng)與傳統(tǒng)CVD相比較.生長溫度更低


技術參數(shù)



項目


型號
TFE - 1200 - 50 -  220 單溫區(qū)PE-CVD系統(tǒng)


可達溫度


1150℃(短期)


額定溫度


1100℃


推薦升溫速率


≤10℃/min


控制精度


±1℃


爐管尺寸


Φ30/50/60*1200mm


爐膛尺寸


Φ80*220mm


加熱區(qū)長度


220mm


恒溫區(qū)長度


80mm


加熱元件


優(yōu)質(zhì)國產(chǎn)電阻絲


額定功率


3KW


供氣系統(tǒng)


三路高精度MFC 量程0-500sccm(可定制)


射頻電源


射頻功:5-500W;射頻頻:13.56MHz;匹配方式:自動匹配


真空系統(tǒng)


雙級旋片真空泵(可定制擴散泵 分子泵等)


外形尺寸


1250*510*810mm




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